- Ваша корзина пуста
- Продолжайте Делать Покупки
Система электронно-лучевой литографии серии JBX-A9
- Высокоточная и высокопроизводительная система прямой записи
- Создано с использованием знаменитой электронной оптики JEOL для максимальной стабильности
- Загружаемые пластины до 300 мм
- Система FOUP доступна опционально
- Возможность расширения на другие технологические инструменты, такие как устройства для нанесения покрытий и проявители
- Низкое энергопотребление
- Повышенная простота использования для пользователей любого уровня опыта
DFB Laser / Nanoimprint
Металинза
Линзовые решетки
Т-образные ворота
Фотонный кристалл
Характеристики
| Элемент | Спецификация |
|---|---|
| Ускоряющее напряжение | 100 кВ |
| Максимальный размер поля | 1000 мкм |
| Минимальный прирост | 0,25 нм |
| Точность стежка | ±9 нм |
| Точность наложения | ±9 нм |
| Минимальная ширина линии | ≦8 нм |
| Ток пучка | от 50 пА до 400 нА |
| Максимальная скорость сканирования | 200 МГц |
| Разрешение позиционирования сцены | 0,15 нм |
| Автоматическая коррекция аберраций | Динамический фокус, динамический стигматизм, отклонение, искажение, коррекция |
| Максимальный размер выборки | 300-пластинчатая маска 9 дюймов |
| Потребляемая мощность | 5 кВА |
| След | 7,4 м × 5,3 м × 2,7 м (В) |
| Базовая конфигурация |
|---|
| Базовая единица |
| Система автоматической загрузки 10 кассет |
| Программа управления с системой ЦП |
| Дополнительная лицензия на программу подготовки данных |
| Дистанционное управление диафрагмой OL |
| Параметры |
|---|
| Оптический микроскоп in-situ |
| Система автоматической загрузки пластин FOUP |
| Система автоматической загрузки пластин Open Cassette 200 мм |
| Программа высокого напряжения 48 кВ |
| Кастомные кассеты |
| SECS/GEM |
| Кондиционер |
| Система отмены электромагнитных помех |
Не нашли то, что искали?
Мы можем подобрать вариант, который обязательно Вам понравится!
Заполните форму и мы ответим вам в ближайшее время.
