JBX-3200MVS — это система электронно-лучевой литографии с изменяемой формой для создания масок с размерами от 32 до 28 нм. Передовые технологии обеспечивают высокую скорость, точность и надежность. Эта система использует электронный пучок с изменяемой формой и напряжением 50 кВ и столик образца с пошаговым перемещением.
Функции
Магазины масок, принадлежащие владельцам, и магазины масок-конкурентов в Японии и за рубежом
(имена клиентов не разглашаются).


