Система электронно-лучевой литографии JBX-9500FS

JBX-9500FS — это система электронно-лучевой печати (ЭЛП) напряжением 100 кВ, обеспечивающая высочайшую в мире производительность и точность позиционирования среди систем точечно-лучевой литографии. Эта система может работать с пластинами диаметром до 300 мм и масками диаметром до 6 дюймов, что отвечает потребностям НИОКР и производства в различных областях, таких как наноимпринтинг, фотонные устройства и устройства связи.

Функции

Помимо максимальной скорости сканирования 100 МГц, JBX-9500FS обеспечивает точность наложения ±11 нм, точность сшивания полей ±10 нм и точность позиционирования внутри поля ±9 нм при размере поля 1000 мкм × 1000 мкм. Таким образом, JBX-9500FS — это система электронно-лучевой печати напряжением 100 кВ, обеспечивающая высочайшую в мире производительность и точность позиционирования среди систем точечно-лучевой литографии.

Поскольку JBX-9500FS использует ЦАП позиционирования луча на 20 бит и ЦАП сканирования на 14 бит, достигается более высокое разрешение шага сканирования 0,25 нм для приращения записи данных на 1 нм, что обеспечивает более точное воспроизведение записываемых данных.

Высокая скорость сканирования до 100 МГц позволяет JBX-9500FS поддерживать короткие шаги сканирования при записи с большим током, тем самым повышая пропускную способность, даже когда требуется высокоточная запись шаблонов.

Первоклассная в мире точность позиционирования достигается за счет LBC (управления лазерным лучом), которое обеспечивает высокое разрешение и минимальный шаг позиционирования луча 0,15 нм (λ/4096).

Кроме того, уникальная функция автокалибровки (функция автоматической коррекции), разработанная JEOL, обеспечивает высоконадежную и стабильную запись шаблонов в течение длительного времени. Время автокоррекции можно настроить для каждого поля или каждого шаблона. Эта функция очень эффективна при длительной записи без оператора, например, в выходные или праздничные дни.

JBX-9500FS может работать с пластинами диаметром до 300 мм и масками диаметром до 6 дюймов, что отвечает потребностям НИОКР и производства в различных областях, таких как наноимпринтинг, фотонные устройства и устройства связи. Добавление системы транспортировки кассет с материалом (опция) позволяет этой системе электронно-лучевой печати загружать до 10 кассет.

Использование программы точного управления шагом луча (программа точной модуляции размера поля) позволяет JBX-9500FS изготавливать решетку с чирпированным периодом, такую ​​как DFB-лазер.