Многолучевая система JIB-4700F

Достижения в разработке новых материалов со сложными наноструктурами предъявляют всё более высокие требования к приборам FIB-SEM, требующим исключительного разрешения, точности и производительности. В ответ на это компания JEOL разработала многолучевую систему JIB-4700F для морфологических исследований, элементного и кристаллографического анализа различных образцов.

Функции

JIB-4700F оснащен гибридным коническим объективом, режимом GENTLEBEAM™ (GB) и системой внутрилинзового детектора, что обеспечивает гарантированное разрешение 1,6 нм при низком ускоряющем напряжении 1 кВ. Благодаря использованию внутрилинзовой электронной пушки с диодом Шоттки, создающей электронный пучок с максимальным током зондирования 300 нА, этот новый прибор обеспечивает наблюдения с высоким разрешением и быстрый анализ. В колонне FIB используется пучок ионов Ga высокой плотности с максимальным током зондирования до 90 нА для быстрого ионного травления и обработки образцов.
Одновременно с высокоскоростной обработкой поперечных срезов с помощью FIB, можно проводить наблюдения с высоким разрешением в СЭМ и быстрый анализ с использованием энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии (EDS) и дифракции обратно рассеянных электронов (EBSD). Кроме того, в качестве одной из стандартных функций JIB-4700F предусмотрена функция трехмерного анализа, которая автоматически захватывает изображения СЭМ с определенными интервалами при обработке поперечных сечений. 

Наблюдение с помощью СЭМ высокого разрешения

Быстрый анализ

Высокоскоростная обработка

Улучшенная система обнаружения

Универсальность

Трехмерное наблюдение/анализ

Функция связи этапов

Система наложения изображений