SM-92100EUVC Эксимерный УФ-очиститель

Функции

• Уменьшает загрязнение во время наблюдений с помощью электронного микроскопа
• Очищает образцы и инструменты
• Гидрофилизирует поверхность образца

При наблюдении в электронный микроскоп на поверхности образца могут постепенно образовываться тёмные области загрязнения.
Эти поверхностные загрязнения могут скрывать истинную структуру поверхности образца или ухудшать разрешение в загрязнённой области.
Видели когда-нибудь этот «тёмный квадрат»? Он возникает, когда углеводородные загрязнения на поверхности образца облучаются электронным пучком, что приводит к образованию углеродистых отложений.
Эксимерный УФ-очиститель использует УФ-излучение (возбуждение ксеноном с длиной волны 172 нм) для удаления загрязнений с поверхности образца. Эту систему также можно использовать для гидрофилизации поверхности образца.

Уменьшить загрязнение во время наблюдения

Для наблюдения тонкой структуры поверхности в сканирующем электронном микроскопе (СЭМ) требуется получение изображений при низком ускоряющем напряжении. В этих условиях
поверхностные загрязнения могут скрыть возможность наблюдения тонкой структуры.

Наблюдение проводилось при увеличении в 100 000 раз (левый рисунок), затем при меньшем увеличении в 30 000 раз (правый рисунок). Когда образец не подвергался обработке (верхний ряд), участок, наблюдаемый при увеличении в 100 000 раз, становится темнее и менее прозрачным. Однако после очистки с помощью эксимерного УФ-очистителя (нижний ряд) загрязнение, вызванное облучением электронным пучком, уменьшается, поскольку на поверхности образца содержится меньше углеводородных соединений.

Очистка загрязнений, прилипших к поверхности образца

При длительном использовании или хранении образца в нем накапливается загрязнение за счет органических соединений, содержащихся в окружающей среде.

Очиститель Excimer UV Cleaner способен устранять загрязнения, вызванные органическими веществами в сухой среде.

Гидрофилизация

При воздействии УФ-излучения эксимерным УФ-очистителем образуются активные формы кислорода, которые могут образовывать полярные функциональные группы на поверхности,
что улучшает гидрофильность. Этот процесс предварительной обработки может применяться для улучшения адгезии при подготовке образца к электронно-микроскопическому наблюдению.